檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "Sheng-Dong Xu".ecommittee (精準) and ckeyword.raw="數位微影"
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微影製程是半導體產業不斷前進的重要技術,透過將微縮線路用光學投影在晶圓上,將特徵尺寸不斷縮小,而數位微影製程捨棄了對光罩的使用,能透過如數位微反射鏡(Digital Micromirror Devi…
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在數位微影製程中,像差對半導體和微機電系統製造品質的影響至關重要, 因此,有效地校正由數位微影系統產生的畸變是提升製程良率的重大研究議題。 在本篇研究中,我們深入探討數位微影系統的畸變補償問題,並提…